日本愛(ài)發(fā)科ULVAC LS120A、LS300A、LS600A、LS1200A螺桿型干泵

簡(jiǎn)要描述：特點(diǎn)■大氣壓附近的排氣速度高，可以縮短排氣時(shí)間

產(chǎn)品型號(hào)：

所屬分類(lèi)：行業(yè)專(zhuān)用儀器儀表

更新時(shí)間：2025-09-29

廠(chǎng)商性質(zhì)：生產(chǎn)廠(chǎng)家

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詳情介紹

特點(diǎn)

■大氣壓附近的排氣速度高，可以縮短排氣時(shí)間。
■ECO-SHOCK技術(shù)實(shí)現(xiàn)低功耗（C型號(hào)）
極限壓力下的功耗為0.6 kW或更低（LS120A-C）
■配有專(zhuān)用的消音器。極限壓力下的噪音水平為61 dB（A）或更低
■無(wú)需先前所需要的軸封氣體?！鵏型可以使用稀釋氣體。
■排氣速度120-1200 m3 / h級(jí)　※可與機(jī)械增壓泵結(jié)合使用可以根據(jù)應(yīng)用選擇排氣能力的型號(hào)

用途

C 規(guī)格：清潔工藝?。↙S A-C）
特征：低功耗型，內(nèi)置ECO-SHOCK
用途：用于清潔氣體排氣，如空氣排氣和N2排氣
濺射/蒸發(fā)/貼合/load lock室/TMP輔助等等
L 規(guī)格：輕工藝（LS A-L）
特征：具有表面處理和清洗功能的輕工藝類(lèi)型
用途：用于輕工藝，如水蒸氣和揮發(fā)性化學(xué)液體排氣
真空干燥/冷凍干燥/塵化/一般產(chǎn)業(yè)用途等等